武汉微环控技术有限公司近日完成了Pre-A轮数千万元融资,这是公司继天使轮后的第二轮融资,所获资金将重点用于新技术研发与产品产能扩张。公司已成功推出国内首台专为电子束光刻机配套的电磁屏蔽微环控系统,并为国产某型号前道光刻机研发了完整的微环控系统。面向光刻机、涂胶显影、量测、键合、光学检测等顶尖设备与仪器,公司可提供成套微环控系统与系列产品配套,可实现气温稳定性±5mK,液温和固温稳定性±1mK,湿度稳定性±0.4%RH,气压稳定性±1Pa,电磁屏蔽磁场波动30nT,洁净度ISO Class1。