1. 公司概况

1.1 公司介绍

无锡星微科技有限公司（XIVI）成立于2015年3月，是一家专注于半导体装备制造领域的高新技术企业。公司以超精密运动系统和晶圆传输机械臂为核心产品，致力于为集成电路制造和先进封装领域提供关键设备及解决方案。

作为国家级专精特新企业，星微科技的核心竞争力体现在其自主研发的精密传动系统和运动控制技术。公司拥有逾110项相关专利，在微纳制造设备领域形成了独特的技术壁垒。特别值得注意的是，公司开发的晶圆真空机械手XIVI采用了创新的全连杆手臂机构，实现了纳米级定位精度，填补了国内在该领域的技术空白。

星微科技的业务模式覆盖从研发设计到生产制造的全产业链条，可为客户提供定制化的工业自动化解决方案。公司产品已广泛应用于半导体前道制程、激光微加工、超精密检测等高端制造场景，客户包括中国科学院上海天文台、之江实验室等知名科研机构。

1.2 公司产品

星微科技的产品线主要分为三大类：

1.2.1 超精密运动系统

包括直线电机平台、气浮转台等核心产品。其中两轴空气轴承直线平台可实现亚微米级运动精度，已成功应用于半导体光刻设备。这些系统具有极高的动态响应特性，加速度可达2G以上，满足高速高精度的工业场景需求。

1.2.2 晶圆传输设备

以晶圆真空机械手XIVI为代表产品，采用独特的机电耦合系统设计，传输速度可达1.5米/秒，定位精度±50微米。该产品系列还包括EFEM（设备前端模块）和SORTER（晶圆分选机），形成完整的晶圆自动化传输解决方案。

1.2.3 工业自动化整机

集成公司自主开发的精密定位控制系统，为特定工业场景提供turn-key解决方案。典型案例包括为武汉光迅科技定制的专用设备，实现了光纤器件的高精度组装。

1.3 公司股东

星微科技经过多轮融资后，形成了较为多元化的股权结构：

主要股东包括：

• 创始人陆敏杰（持股44.26%）

• 无锡跳板桥精密技术合伙企业（14.65%）

• 苏州耀途资本（6.90%）

• 毅达资本系基金（合计约8.5%）

• 建发新兴投资（1.63%）

值得注意的是，公司股东中包含多家产业资本，如上汽集团旗下的尚颀资本，这些战略投资者为星微科技带来了产业协同资源。2024年最新B+轮融资引入了无锡集成电路产业专项母基金，进一步强化了公司在半导体产业链中的战略定位。

1.4 团队成员

公司核心团队具有深厚的行业背景：

• 董事长陆敏杰：拥有15年精密运动控制领域经验，主导开发了公司所有核心产品线

• 研发总监陶涛：原中科院微电子所高级工程师，负责机电系统集成开发

• 首席科学家马琦骐：美国密歇根大学机械工程博士，专注超精密运动算法研究

技术团队规模约80人，占员工总数40%，其中博士学历占比15%。公司建立了完善的知识产权管理体系，研发人员人均专利持有量达1.4项。

1.5 公司发展历程

星微科技的发展可分为三个阶段：

1.5.1 技术积累期（2015-2017）

• 2015年3月公司成立，专注精密运动控制产品研发

• 2017年完成首台晶圆传输机械手原型机开发

1.5.2 产品商业化期（2018-2021）

• 2019年A轮融资近亿元，扩建生产基地

• 2020年首条自动化产线投产，年产能达200台套

• 2021年晶圆传输设备出货量突破100台

1.5.3 规模扩张期（2022-至今）

• 2022年完成B轮融资，估值超10亿元

• 2023年入选江苏省专精特新小巨人企业

• 2024年发布真空机械手XIVI，获头部客户批量订单

• 截至2025年，累计出货量超2000套运动平台，300台晶圆设备

2. 行业前景分析

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3. 公司实力分析

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4. 公司风险分析

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5. 对外投资分析

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6. 附件

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